Класс 100 чистота комнаты и ниже, чистота комнаты инспекции электронных, оптических, химических, пищевых, промышленных производств, медицины и здравоохранения, биологических продуктов, аэрокосмической и других, фильтр уплотнения инспекции частиц загрязнения, обнаружения источника.